Máy đo bề mặt quang học 3D SuperView W1

Mô tả

Hình dạng và độ nhám bề mặt Nano 3D của giao thoa ánh sáng trắng

Ứng dụng

Nó được sử dụng để đo và phân tích độ nhám bề mặt và biên dạng của các thành phần chính xác từ các ngành công nghiệp bán dẫn, Điện tử 3C, gia công siêu chính xác, gia công quang học, vật liệu micro-nano, hệ thống cơ điện tử vi mô.

Trường hợp ứng dụng

Đo lường và phân tích các sản phẩm, thành phần và đặc điểm bề mặt và đặc điểm bề mặt của vật liệu, chẳng hạn như độ phẳng, độ nhám, độ gợn sóng, bề ngoài, khuyết tật bề mặt, mài mòn, ăn mòn, khe hở, lỗ, giai đoạn, độ cong, biến dạng, …

Phần mềm XtremeVision 3D

Phần mềm tích hợp: Đo lường và phân tích được vận hành trên cùng một giao diện. Với các thông số phân tích được cài đặt sẵn, phần mềm sẽ tự động tạo dữ liệu đo và đạt được phép đo CNC nhanh chóng.

Thông số kỹ thuật

Mẫu số.		SuperView W1	SuperView W1-Pro
Nguồn sáng		Trắng/ Xanh LED
Hệ thống Video		1024×1024
Trường nhìn tiêu chuẩn		0.98×0.98 mm
Trường nhìn tối đa (Tùy chọn)		6.0×6.0 mm
Bảng đối tượng	Kích thước	(320×200)mm	(300×300)mm
	Phạm vi đo	(140×100)mm	(200×200)mm
	Tải trọng	10kg
	Phương pháp điều khiển	Động cơ
	Tiêu đề	Hướng dẫn sử dụng ± 5 °
Trục Z Phạm vi đo		Động cơ 100mm
Trục Z phạm vi quét đột biến		10mm
Trục Z tốc độ quét		45μm/s
Trục Z Độ chính xác		0.1nm
Độ phân giải bên		0.1μm
Ký tự của đối tượng thử nghiệm		Bề mặt siêu mịn, bề mặt thô; Độ phản xạ 0,05% ~ 100%
Độ chính xác của giai đoạn	Sự chính xác	0.3%
	Độ lặp lại	0.08% 1σ
Nguồn		AC100~240V, 50/60Hz, 4A, 300W
Kích thước		L900*W700*H604mm	L900*W700*H1500mm
Trọng lượng		<150KG	<160KG

Cấu hình chuẩn

1) Máy chủ

2) Máy ảnh tốc độ cao

3) Thu phóng quang học : 0.5X

4) Vật kính Parfocal: 10×

5) Bảng đối tượng X & Y có động cơ

6) Tháp pháo 3 lỗ thủ công

7) Máy đo chính các giai đoạn 4,7μm

8) Cần điều khiển

9) Phần mềm XtremeVision với chức năng khâu tự động

10) Hộp điều khiển điện

11) Máy tính (WIN10) and Màn hình 24″

12) Hộp điều khiển điện

13) Bơm hơi cầm tay

14) Hướng dẫn sử dụng và chứng nhận sản phẩm

Cấu hình tùy chọn

1) Vật kính Parfocal : 2.5X,  5X, 10X, 50X, 100X

2) Thu phóng quang học : 0.75X, 1X

3) Mâm cặp chân không : 4″, 6″ or 8″

4) Tháp pháo 5 lỗ có động cơ

Yêu cầu về môi trường

1) Môi trường hoạt động: Không có từ trường mạnh

2) Nhiệt độ làm việc: 15°C ~ 30°C, biến động <2°C/60 phút

3) Độ ẩm tương đối: 5%~95% RH, không ngưng tụ

4) Độ rung môi trường: VC-C hoặc cao hơn

5) Cung cấp áp suất: 0,6Mpa không dầu, không nước, đường kính ống 6mm.

Thông số kỹ thuật có thể thay đổi mà không cần thông báo trước do tu sửa sản phẩm, v.v